集成電路失效分析實驗室設有先進的測試儀器,以支援半導體及電子產品的產品分析。

集成電路失效分析實驗服務:

  • 失效情況認定
  • 電性測試
  • 外端封裝檢查
  • 內部封裝檢查
  • 封裝剝離
  • 失效位置定位
  • 晶片去層
  • 光學顯微鏡檢測
  • 掃描電鏡檢測
  • 線路修改
  • 結構分析

儀器清單

 

失效情況驗證

Curve Tracer (Tektronix 370B)

半導體曲線追蹤儀
(泰克370B)

失效情況驗證

Parametric Analyzer (HP 4155A)

半導體參數分析儀
(HP 4155A)

電性測試

ESD (HBM/MM) & Latch-up Tester (Thermo KeyTek ZapMaster MK 2)

靜電放電(HBM/MM)及閂鎖(Latch-up)測試儀(Thermo Fisher Scientific MK.2 ESD and Latch-Up Test System)

 

外端及內部封裝檢查

Stereo Microscope
(Leica S6D)

共焦顯微鏡
(萊卡 S6D)

外端及內部封裝檢查

Scanning Acoustic Microscope (PVA TePla WIN SAM-Vario III)

掃描聲學顯微鏡
(PVA TePla WIN SAM-Vario III)

 

外端及內部封裝檢查

nordsondagexd7600ntdiamond150x150

2D 及3D (電腦斷層掃描) X射線檢查系統 (Nordson Dage XD7600NT Diamond FP)

封裝剝離

Laser Decapsulation System (Nisene)

激光開封系統
(Nisene)

封裝剝離

Decapsulated Samples

解封裝樣品

封裝剝離

Decap on specific area

特定位置開封

 

封裝剝離

Copper Wire decap

銅制程產品開封

封裝剝離

On-board Decap

PCB板上開封

封裝剝離

Package remove–expose backside of Chip

移除封裝背面,顯露芯片背面

失效位置定位

Emission Microscope, (EMM)I with Laser Scanning Microscope
(LSM /OBIRCH) (DCG Systems TriVision)

光熱發射顯微鏡,並有激光掃描模塊 (LSM /OBIRCH)
 (Thermo Fisher Scientific TriVision)

 

失效位置定位

Fault found with EMMI

EMMI下的缺陷定位

失效位置定位

Thermal Emission (DCG System,s ELITE)

熱感顯微鏡
(Thermo Fisher Scientific ELITE)

失效位置定位

Fault found with ELITE

ELITE 下的缺陷定位

失效位置定位

Laser Cutter (EzLaze Laser Cutting System)

激光切割機
(EzLaze Laser Cutting System)

失效位置定位

Manual Probe Station (Karl Suss PM-8)

手動探針台
(FormFactor PM-8)

晶片去層

Reactive Ion Etching (RIE) systems (Oxford Instruments,, Plasmalab 80+)

反應性離子蝕刻(RIE)系統 (Oxford Instruments, Plasmalab 80+)

 

晶片去層

Layer deprocessing

剝層分析

光學顯微鏡檢測、掃描電鏡檢測

High Magnification Microscope (Leica DM8000M)

高倍率顯微鏡
(萊卡DM8000M)

光學顯微鏡檢測、掃描電鏡檢測

Image under Hign Power Microscope

高倍鏡下成像

光學顯微鏡檢測、掃描電鏡檢測

Counting Metal layers

檢測金屬層數量

光學顯微鏡檢測、掃描電鏡檢測

場發射掃描電鏡
(ZEISS GeminiSEM 300 )

 

光學顯微鏡檢測、掃描電鏡檢測

Defect under SEM

電鏡下,缺陷顯現

光學顯微鏡檢測、掃描電鏡檢測

Defect under SEM

電鏡下,缺陷顯現

線路修改

Focused Ion Beam (DCG Systems OptiFIB -IV)

聚焦離子束系統
(Thermo Fisher Scientific OptiFIB -IV)

 

結構分析

Cross-section on PCB

PCB剖面研磨

結構分析

Cross-section on camera lens

相機鏡頭剖面研磨

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